发明授权
- 专利标题： 半导体器件翻转装置
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申请号： CN202010370818.8申请日： 2018-10-23
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公开(公告)号： CN111403324B公开(公告)日： 2021-03-12
- 发明人: 刘孟勇 , 丁滔滔 , 刘武 , 邢瑞远 , 陈国良
- 申请人： 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 专利权人： 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人： 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
- 代理机构： 北京永新同创知识产权代理有限公司
- 代理商 杨锡劢; 刘柳
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/677 ; H01L21/68 ; H01L21/683 ; H01L21/687
摘要：
公开了用于翻转半导体器件的装置及其使用方法的实施例。在示例中，用于翻转半导体器件的装置包括至少一个夹具和连接到至少一个夹具的旋转单元。至少一个夹具配置成通过同时挤压半导体器件的第一表面和第二表面来保持半导体器件。第一表面与第二表面相对。旋转单元被配置为旋转至少一个夹具以翻转由至少一个夹具保持的半导体器件。
公开/授权文献
- CN111403324A 半导体器件翻转装置 公开/授权日：2020-07-10
IPC分类:
