本发明涉及光伏电池技术领域，为解决传统ALD方式PERC电池EL测试存在发黑现象和转换率低的问题，提供了一种ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法，包括以下步骤：(1)将镀好氧化铝薄膜的电池片进镀正面减反射薄膜炉管中；(2)炉管升温，气体抽干净，充氮气，调节炉管内压力；(3)完成电离气体制作成等离子体；(4)完成多层减反射薄膜沉积；(5)完成电池片正面减反射薄膜沉积。本发明利用高能量的等离子体轰击去除电池片正表面的氧化铝薄膜，使后续烧结工序正银浆能够很好的穿透电池片正面的减反射薄膜层，从而与硅片形成良好的欧姆接触，降低接触电阻，有利于效率提升，和改善电池片测试EL发黑比例。