发明授权
- 专利标题： 收卷式成膜装置和收卷式成膜方法
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申请号： CN201980005724.6申请日： 2019-05-16
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公开(公告)号： CN111344431B公开(公告)日： 2021-04-13
- 发明人: 坂本纯一 , 斋藤一也 , 清田淳也 , 武井应树 , 横山礼宽
- 申请人： 株式会社爱发科
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人： 株式会社爱发科
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 北京柏杉松知识产权代理事务所
- 代理商 袁波; 刘继富
- 优先权： 2018-104675 20180531 JP
- 国际申请： PCT/JP2019/019504 2019.05.16
- 国际公布： WO2019/230421 JA 2019.12.05
- 进入国家日期： 2020-05-14
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; B41F5/04 ; B41F9/00 ; B41F17/10 ; B41M1/02 ; B41M1/10 ; B41M1/28 ; B41M1/30 ; B65H20/00 ; C23C14/02 ; C23C14/14 ; C23C14/24 ; C23C14/56
摘要：
本发明提供一种收卷式成膜装置，其具有真空容器、膜行进机构、锂源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内使锂蒸发。上述第一辊被配置在上述膜的成膜面和上述锂源之间。上述第一辊具有接收从上述锂源蒸发的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。
公开/授权文献
- CN111344431A 收卷式成膜装置和收卷式成膜方法 公开/授权日：2020-06-26
IPC分类:
