本发明提供一种即使在以规定的排列并排的元件小的情况下，也能够容易地仅除去特定元件的特定元件的除去装置和能够制造除去特定的元件的元件阵列的元件阵列的制造装置。元件阵列的制造装置(10)具有设置台(26a)，其将具有将元件(23)以规定的排列并排并附着于表面的粘接层(22b)的基板(22)以粘接层(22b)的表面从水平面倾斜规定角度的状态保持。另外，装置(10)具有：激光照射器具(30)，其朝向附着于粘接层(22b)的元件(23)内的特定的元件(23a)照射激光；回收机构(40)，其设置于基板(22)的下方，接收被激光照射而落下的特定的元件(23a)。