本发明涉及一种超高强度不锈钢小模数内齿轮精密加工方法，属于航空航天和精密加工领域；步骤一、准备柱体毛坯料；步骤二、通孔；并对毛坯料的外壁、两端圆面内壁进行粗磨；步骤三、在毛坯料内壁中部加工内齿；步骤四、对毛坯料进行热调制处理；步骤五、对毛坯料内壁的内齿进行精切割；步骤六、在毛坯料的轴向两端的内壁加工对接通孔；并加工装夹用孔；步骤七、低温时效去应力处理；步骤八、将毛坯料放置在装夹工具的凹槽中；周向固定连接；步骤九、将毛坯料的内齿型面精磨至成型标准尺寸；本发明克服超高强度不锈钢小模数内齿轮因材料淬火后硬度过高和尺寸过小的制造难题，精密高效地完成超高强不锈钢(CF170)小模数内齿轮的加工制造。