- 专利标题: 化合物、化合物的制备方法及有机膜形成用组合物
- 专利标题(英): COMPOUND, METHOD FOR MANUFACTURING THE COMPOUND, AND COMPOSITION FOR FORMING ORGANIC FILM
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申请号: CN201910539260.9申请日: 2019-06-20
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公开(公告)号: CN110627600A公开(公告)日: 2019-12-31
- 发明人: 橘诚一郎 , 渡边武 , 新井田惠介 , 长井洋子 , 泽村昂志 , 荻原勤 , 亚历山大·爱德华·赫斯 , 格雷戈里·布雷塔 , 丹尼尔·保罗·桑德斯 , 鲁迪·J·沃伊泰茨基
- 申请人: 信越化学工业株式会社 , 国际商业机器公司
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 信越化学工业株式会社,国际商业机器公司
- 当前专利权人: 信越化学工业株式会社,国际商业机器公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 张晶; 谢顺星
- 优先权: 16/013,672 2018.06.20 US
- 主分类号: C07C1/26
- IPC分类号: C07C1/26 ; C07C13/567 ; C07C15/02 ; C07C13/62 ; C07C13/66 ; C07D221/16 ; C07D519/00 ; C07C15/50 ; C07C41/30 ; C07C43/21 ; C07C43/285 ; C07D307/91 ; C07D209/86 ; C07D333/08 ; C07D311/82 ; C07D335/12 ; C07C209/68 ; C07C211/55 ; C07C29/32 ; C07C35/38 ; C07C37/16 ; C07C39/225 ; G03F7/004
摘要:
本发明提供化合物、该化合物的制备方法及使用了该化合物的有机膜形成用组合物,该化合物能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物,耐热性及形成于基板的图案的嵌入或平坦化特性优异,且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物在分子内具有2个以上下述通式(1-1)所示的结构。 式中,Ar表示可具有取代基的芳香环或含有氮原子及硫原子中的1个以上的芳香环,2个Ar可彼此连接而形成环结构;虚线为与Y的结合键,Y为具备可具有取代基的芳香环或杂芳香环、且结合键位于芳香环结构或杂芳香环结构的碳原子数为6~30个的2价或3价有机基团;R为氢原子或碳原子数为1~68的1价基团。
公开/授权文献
- CN110627600B 化合物、化合物的制备方法及有机膜形成用组合物 公开/授权日:2022-07-01