- 专利标题: 一种基于金刚石衬底的氮化镓器件及其制备方法
- 专利标题(英): Gallium nitride device based on diamond substrate and preparation method of gallium nitride device
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申请号: CN201910326079.X申请日: 2019-04-23
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公开(公告)号: CN110164766A公开(公告)日: 2019-08-23
- 发明人: 任泽阳 , 张金风 , 吕丹丹 , 张进成 , 苏凯 , 张雅超 , 郝跃
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 代理机构: 西安嘉思特知识产权代理事务所
- 代理商 张捷
- 主分类号: H01L21/335
- IPC分类号: H01L21/335 ; H01L29/778 ; H01L23/373
摘要:
本发明涉及一种基于金刚石衬底的氮化镓器件及其制备方法。其中,基于金刚石衬底的氮化镓器件的制备方法包括步骤:在氮化镓材料层的第一面生长金刚石层;在所述氮化镓材料层的第二面生长AlN成核层;在所述AlN成核层上生长GaN缓冲层;在所述GaN缓冲层上生长AlGaN势垒层。该制备方法通过在氮化镓材料层的第一面直接生长金刚石层,避免引入介质层,消除了介质层材料热阻的影响,使得金刚石与氮化镓材料直接接触,从而使氮化镓器件直接利用热导率较高的金刚石进行散热,有效解决了氮化镓大功率器件的散热问题。
公开/授权文献
- CN110164766B 一种基于金刚石衬底的氮化镓器件及其制备方法 公开/授权日:2021-01-15
IPC分类: