取向AlN烧结体及其制法
Abstract:
取向AlN烧结体的制法的第一工序中,在包含板面为c面、纵横尺寸比为3以上、平均厚度为0.05~1.8μm的板状AlN粉末的AlN原料粉末中混合烧结助剂,得到混合物,将该混合物成型,制作成型体,且该工序中,以所述板状AlN粉末的板面沿着所述成型体的表面的方式将所述混合物成型。第二工序中,对成型体的表面进行加压,同时,在非氧化气氛下,对成型体进行热压烧成,得到取向AlN烧结体。
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