一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法
摘要:
一种动态特性测试的压电式激励装置及其工作方法,属于微型机械电子技术领域。压电式激励装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元,微结构激励单元包括一个手动三轴位移台,在手动三轴位移台的垂直溜板上安装有连接板,在连接板上通过螺纹安装有封装压电陶瓷,在封装压电陶瓷的顶部安装有微结构安装板,在微结构安装板的顶部粘接有MEMS微结构;光激励单元中使用了四个遮光板,使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上;该装置的有益效果是:可以实现对MEMS微结构整体的同时加热,确保了微结构表面的温度分布均匀,降低了微结构表面的温度梯度,大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。
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