发明授权
- 专利标题: 三维存储器件及其制造方法
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申请号: CN201880002698.7申请日: 2018-11-22
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公开(公告)号: CN109643717B公开(公告)日: 2019-11-26
- 发明人: 刘峻 , 肖莉红
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京永新同创知识产权代理有限公司
- 代理商 钟胜光
- 国际申请: PCT/CN2018/116980 2018.11.22
- 进入国家日期: 2019-01-02
- 主分类号: H01L27/1157
- IPC分类号: H01L27/1157 ; H01L27/11578
摘要:
公开了具有约束电子传输的存储层的三维(3D)存储器件及其形成方法的实施例。一种用于形成3D存储器件的方法包括下述操作。在一个结构中形成初始沟道孔。所述结构包括在衬底之上交替布置的多个第一层和多个第二层。可以在所述初始沟道孔的侧壁上形成所述多个第一层中的每一个的侧表面与所述多个第二层中的每一个的侧表面之间的偏移,以形成沟道孔。可以形成具有沟道形成结构的沟道孔,以形成半导体沟道。所述沟道形成结构可以包括沿竖直方向延伸的存储层。之后,可以利用多个栅电极替代所述多个第二层。
公开/授权文献
- CN109643717A 三维存储器件及其制造方法 公开/授权日:2019-04-16
IPC分类: