一种PERC双面太阳电池湿法刻蚀工艺
Abstract:
本发明涉及晶硅太阳电池制造技术领域,为解决传统湿法刻蚀后刻蚀面绒面不均匀,导致背面SiN颜色离散性大和转换效率低的问题,提供了一种PERC双面太阳电池湿法刻蚀工艺,包括以下步骤:(1)滴水形成水膜;(2)一次刻蚀;(3)纯水清洗;(4)二次刻蚀;(5)纯水清洗;(6)酸洗;(7)纯水清洗;(8)烘干。本发明对硅片背面分别进行了初次刻蚀和再次刻蚀,不仅去除了硅片背面和边缘的PN结以及硅片背面的多孔硅,还使得硅片背面绒面均匀性好,出绒率高,对太阳光的吸收好,最终使背面转换效率达到0.2%的提升,双面率可提升10%;背面绒面更均匀,使得背面镀膜后SiN颜色一致性好,背面颜色合格率从97%提升到99.5%,效果显著。
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