基于位移的重叠或对准

Invention Grant

Abstract:

一种方法包括：获得衬底上的多个结构的图像，通过转移设计布局的对应图案而将多个结构中的每一个结构形成到所述衬底上；获得所述结构中的每一个结构相对于该结构的参照点的位移；以及基于所述位移，使用硬件计算机系统将多个结构中的每一个结构分配到多个组中的一个组中。

Public/Granted literature

Information query

Chinese Patent Announcement Global Dossier Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/20	.曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B27/00）