发明公开
- 专利标题: 3D存储器件及其制造方法
- 专利标题(英): 3D memory device and manufacture method thereof
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申请号: CN201810796712.7申请日: 2018-07-19
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公开(公告)号: CN109003983A公开(公告)日: 2018-12-14
- 发明人: 孙坚华 , 陶谦 , 胡禺石 , 肖莉红 , 郭美澜 , 唐志武 , 邵明 , 夏季
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京成创同维知识产权代理有限公司
- 代理商 蔡纯; 李向英
- 主分类号: H01L27/1157
- IPC分类号: H01L27/1157 ; H01L27/11573 ; H01L27/11582
摘要:
本申请公开了一种3D存储器件及其制造方法。所述3D存储器件包括:衬底;位于衬底上方的叠层结构,所述叠层结构包括若干层间隔设置的栅极导体,所述栅极导体由栅线缝隙分割为多个栅线;贯穿所述叠层结构的多个沟道柱;以及位于所述栅线缝隙中的导电通道和绝缘层,所述导电通道采用所述绝缘层与所述多个栅线彼此隔开,其中,所述3D存储器件还包括阻挡层,所述阻挡层位于所述栅线邻近所述导电通道的端部与绝缘层之间。该3D存储器件中的阻挡层可以避免残留的前驱气体形成缝隙导致栅极导体与导电通道短接,从而提高3D存储器件的良率和可靠性。
公开/授权文献
- CN109003983B 3D存储器件及其制造方法 公开/授权日:2020-11-13
IPC分类: