发明授权
- 专利标题: 线锯装置的制造方法及线锯装置
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申请号: CN201780018553.1申请日: 2017-02-24
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公开(公告)号: CN108778623B公开(公告)日: 2020-07-03
- 发明人: 宇佐美佳宏
- 申请人: 信越半导体株式会社
- 申请人地址: 日本东京都千代田区大手町二丁目2番1号
- 专利权人: 信越半导体株式会社
- 当前专利权人: 信越半导体株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都千代田区大手町二丁目2番1号
- 代理机构: 北京京万通知识产权代理有限公司
- 代理商 许天易
- 优先权: 2016-085208 2016.04.21 JP
- 国际申请: PCT/JP2017/006980 2017.02.24
- 国际公布: WO2017/183295 JA 2017.10.26
- 进入国家日期: 2018-09-19
- 主分类号: B24B27/06
- IPC分类号: B24B27/06 ; B28D5/04 ; H01L21/304
摘要:
本发明提供一种线锯装置的制造方法,该线锯装置包括钢线供给轴盘、长型辊、导线器、钢线卷收轴盘及被控制而在经设定的控制角度±A(°)内动作并且对该钢线赋予张力的张力臂,该线锯装置的制造方法包括下列步骤:测定该长型辊的表面粗糙度Rmax;自该钢线供给轴盘伸出该钢线时,测定该张力臂的角度摆动至该经设定的控制角度的范围外时的该张力臂的角度a(°);将该经测定的该长型辊的表面粗糙度Rmax作为R1(μm),计算出R1×2×A÷(|a|+A)=R2;以及使该长型辊的表面粗糙度Rmax成为该计算出的数值R2以下。由此,可防止张力臂大幅摆动至控制范围外。
公开/授权文献
- CN108778623A 线锯装置的制造方法及线锯装置 公开/授权日:2018-11-09