基于石墨烯衬底的LED外延结构及生长方法和LED
摘要:
本发明公开了一种基于石墨烯衬底的LED外延结构及生长方法和LED,石墨烯衬底包括基底和位于基底一侧表面的石墨烯层,生长于石墨烯衬底上的缓冲层,缓冲层包括生长于石墨烯层背离基底一侧表面的缓冲子层,缓冲子层为AlN缓冲子层、GaN缓冲子层、InGaN缓冲子层或AlGaInN缓冲子层;依次叠加生长于缓冲层上的N型GaN层、有源层和P型GaN层。本发明提供的技术方案,在石墨烯衬底上生长LED外延结构的缓冲层,降低LED外延结构和石墨烯衬底之间的晶格失配,及降低石墨烯衬底和LED外延结构之间的应力,进而能够制备高晶体质量的LED外延结构,进而有效降低极化电场,降低能带的弯曲,增加电子与空穴的复合效率。
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