- 专利标题: 一种利用全固态电池实现的增强型III-VHEMT器件
- 专利标题(英): Enhanced type III-V HEMT device realized by using full solid-state battery
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申请号: CN201810405244.6申请日: 2018-04-29
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公开(公告)号: CN108598161A公开(公告)日: 2018-09-28
- 发明人: 董志华 , 张辉 , 张佩佩 , 程知群 , 刘国华 , 李仕琦 , 蒋俊杰
- 申请人: 杭州电子科技大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市下沙高教园区
- 专利权人: 杭州电子科技大学
- 当前专利权人: 杭州电子科技大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市下沙高教园区
- 代理机构: 浙江永鼎律师事务所
- 代理商 雷仕荣
- 主分类号: H01L29/778
- IPC分类号: H01L29/778 ; H01L29/06 ; H01L27/06 ; H01L21/335
摘要:
本发明公开了一种利用全固态电池实现的增强型III-V HEMT器件,在衬底上依次形成第二半导体层和第一半导体层并在所述第二半导体层和第一半导体层之间形成异质结构;源电极和漏电极通过形成于该异质结构中的二维电子气电连接;栅电极用于控制所述异质结构中二维电子气的导通或断开;还包括设置在所述源电极和栅电极之间的全固态电池,所述全固态电池由至少1组电池单元串联或串并联构成,用于使异质结构相应区域中二维电子气耗尽。本发明能有效实现增强型工作模式,此外,全固态电池是与微纳加工工艺兼容的,可以在器件的工艺过程中一次完成。同时,器件的阈值电压可通过串联固态电池的单元数来改变。
公开/授权文献
- CN108598161B 一种利用全固态电池实现的增强型III-V HEMT器件 公开/授权日:2021-03-09
IPC分类: