发明授权
- 专利标题: 一种3D形貌检测系统及方法
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申请号: CN201810164038.0申请日: 2018-02-27
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公开(公告)号: CN108426538B公开(公告)日: 2019-12-31
- 发明人: 易定容 , 孔令华 , 刘婷 , 蒋威 , 魏立
- 申请人: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
- 申请人地址: 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号
- 专利权人: 华侨大学,宁波五维检测科技有限公司
- 当前专利权人: 华侨大学,宁波五维检测科技有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号
- 代理机构: 厦门市首创君合专利事务所有限公司
- 代理商 张松亭
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24
摘要:
本发明公开了一种3D形貌检测系统及方法,系统包括自动载物台、带有纵向色差的光学显微成像系统、一个通道数N≥4的窄带多光谱图像传感器、控制单元及图像分析单元;所述载物台与所述控制单元电相连,所述图像分析单元与所述多光谱图像传感器和控制单元分别电相连,所述光学显微成像系统与所述多光谱图像传感器机械相连。本发明可以一次曝光获得物体表面XY空间位置自然校准而聚焦清晰度不同的多幅窄带光谱图像,使用配套的如散焦模糊度算法及配套的自动聚焦方法,可以全自动的获得物体表面3D形貌,即任意空间位置XY的深度Z信息;本发明对于先进制造刀具、精密样品或者部件表面形貌快速在线检测具有广泛应用价值。
公开/授权文献
- CN108426538A 一种3D形貌检测系统及方法 公开/授权日:2018-08-21