一种3D形貌检测系统及方法
摘要:
本发明公开了一种3D形貌检测系统及方法,系统包括自动载物台、带有纵向色差的光学显微成像系统、一个通道数N≥4的窄带多光谱图像传感器、控制单元及图像分析单元;所述载物台与所述控制单元电相连,所述图像分析单元与所述多光谱图像传感器和控制单元分别电相连,所述光学显微成像系统与所述多光谱图像传感器机械相连。本发明可以一次曝光获得物体表面XY空间位置自然校准而聚焦清晰度不同的多幅窄带光谱图像,使用配套的如散焦模糊度算法及配套的自动聚焦方法,可以全自动的获得物体表面3D形貌,即任意空间位置XY的深度Z信息;本发明对于先进制造刀具、精密样品或者部件表面形貌快速在线检测具有广泛应用价值。
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