- 专利标题: 多晶氮化镓自立基板和使用该多晶氮化镓自立基板的发光元件
- 专利标题(英): POLYCRYSTALLINE GALLIUM-NITRIDE SELF-SUPPORTING SUBSTRATE AND LIGHT-EMITTING ELEMENT USING SAME
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申请号: CN201810324504.7申请日: 2015-03-23
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公开(公告)号: CN108305923A公开(公告)日: 2018-07-20
- 发明人: 渡边守道 , 吉川润 , 仓冈義孝 , 七泷努
- 申请人: 日本碍子株式会社
- 申请人地址: 日本国爱知县
- 专利权人: 日本碍子株式会社
- 当前专利权人: 日本碍子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国爱知县
- 代理机构: 北京旭知行专利代理事务所
- 代理商 王轶; 郑雪娜
- 优先权: 2014-071342 2014.03.31 JP
- 主分类号: H01L33/16
- IPC分类号: H01L33/16 ; H01L33/32 ; C30B29/40
摘要:
本发明提供一种多晶氮化镓自立基板和使用该多晶氮化镓自立基板的发光元件,由在大致法线方向上沿特定结晶方位取向的多个氮化镓系单晶粒子构成。该自立基板的基板表面的利用电子背散射衍射法(EBSD)的反极图成像测定的各氮化镓系单晶粒子的结晶方位按照相对于特定结晶方位以各种角度倾斜的方式分布,其平均倾斜角为1~10°。此外,本发明的发光元件包括所述自立基板和形成于基板上的发光功能层,该发光功能层具有一层以上的在大致法线方向具有单晶结构的由多个半导体单晶粒子构成的层。根据本发明,可以提供能够降低基板表面的缺陷密度的多晶氮化镓自立基板。此外,使用本发明的多晶氮化镓自立基板也可以提供能够获得高发光效率的发光元件。
公开/授权文献
- CN108305923B 多晶氮化镓自立基板和使用该多晶氮化镓自立基板的发光元件 公开/授权日:2020-09-15
IPC分类: