一种AlGaInP发光二极管及其制作方法
摘要:
本申请提供一种AlGaInP发光二极管及其制作方法,所述制作方法为:分别提供第一LED外延结构、第二LED外延结构和第三衬底,其中,第一LED外延结构包括第一型AlInP限制层、AlGaInP多量子阱层、第二型AlInP限制层,第二LED外延结构包括GaP电流扩展层,然后采用键合工艺将第二LED外延结构先与第三衬底键合,再将第一LED外延结构与第二LED外延结构键合,形成完整的发光二极管结构。通过两次键合工艺,避免了在生长较高晶体质量的GaP电流扩展层时,需要高于AlGaInP材料的温度,且耗时较长,造成的第一型掺杂杂质与第二型掺杂杂质向多量子阱层扩散,影响多量子阱的内量子效率。
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