- 专利标题: 一种AlGaInP发光二极管及其制作方法
- 专利标题(英): AlGaInP light-emitting diode and manufacturing method thereof
-
申请号: CN201711227890.X申请日: 2017-11-29
-
公开(公告)号: CN108010996A公开(公告)日: 2018-05-08
- 发明人: 杜石磊 , 李俊承 , 韩效亚 , 伏兵 , 张双翔
- 申请人: 扬州乾照光电有限公司
- 申请人地址: 江苏省扬州市经济技术开发区东风河西路8号
- 专利权人: 扬州乾照光电有限公司
- 当前专利权人: 扬州乾照光电有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省扬州市经济技术开发区东风河西路8号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 李婷婷; 王宝筠
- 主分类号: H01L33/06
- IPC分类号: H01L33/06 ; H01L33/14 ; H01L33/30 ; H01L33/00
摘要:
本申请提供一种AlGaInP发光二极管及其制作方法,所述制作方法为:分别提供第一LED外延结构、第二LED外延结构和第三衬底,其中,第一LED外延结构包括第一型AlInP限制层、AlGaInP多量子阱层、第二型AlInP限制层,第二LED外延结构包括GaP电流扩展层,然后采用键合工艺将第二LED外延结构先与第三衬底键合,再将第一LED外延结构与第二LED外延结构键合,形成完整的发光二极管结构。通过两次键合工艺,避免了在生长较高晶体质量的GaP电流扩展层时,需要高于AlGaInP材料的温度,且耗时较长,造成的第一型掺杂杂质与第二型掺杂杂质向多量子阱层扩散,影响多量子阱的内量子效率。
公开/授权文献
- CN108010996B 一种AlGaInP发光二极管及其制作方法 公开/授权日:2019-05-03
IPC分类: