一种黄绿光发光二极管及制作方法
摘要:
本发明公开了一种黄绿光发光二极管及制作方法,该制作方法包括:提供一预设晶向的衬底;在衬底的一侧生长缓冲层;在缓冲层背离衬底的一侧生长分布式布拉格反射层;在分布式布拉格反射层背离缓冲层的一侧生长第一型限制层;在第一型限制层背离分布式布拉格反射层的一侧生长非掺杂超晶格有源层;在非掺杂超晶格有源层背离第一型限制层的一侧生长第二型限制层;在第二型限制层背离非掺杂超晶格有源层的一侧生长过渡层;在过渡层背离第二型限制层的一侧生长窗口层;在窗口层背离过渡层的一侧生长第一型电极;在衬底背离缓冲层的一侧生长第二型电极。该黄绿光发光二极管法向光强更高,具有很高的芯片亮度。
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