- 专利标题: 一种增大离子注入束流的离子发射装置及方法
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申请号: CN201710456328.8申请日: 2017-06-16
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公开(公告)号: CN107393796B公开(公告)日: 2019-08-20
- 发明人: 康晓旭 , 曾绍海
- 申请人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号
- 专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人: 上海集成电路研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高斯路497号
- 代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所
- 代理商 吴世华; 陈慧弘
- 主分类号: H01J37/317
- IPC分类号: H01J37/317 ; H01J37/32 ; H01L21/67
摘要:
本发明公开了一种增大离子注入束流的离子发射装置,包括离子源、第一吸极、储存磁场和磁性分析部件,所述第一吸极设置在离子源的出口方向,所述储存磁场与所述第一吸极的出口偏转一定的角度,该角度使得经过第一吸极的离子进入储存磁场中做圆周运动,所述磁性分析部件用于对储存磁场中的离子进行检测分离;所述离子源电离的离子经过第一吸极引出,被第一吸极引出的离子进入储存磁场中做圆周运动,当储存磁场中的离子数量达到规定值时,将储存磁场中的离子释放至所述磁性分析部件中。本发明提供的增大离子注入束流的离子发射装置可以增大离子注入束流,进而提高离子注入工艺的均匀性和效率。
公开/授权文献
- CN107393796A 一种增大离子注入束流的离子发射装置及方法 公开/授权日:2017-11-24