分段栅场板垂直型电流孔径功率器件及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种分段栅场板垂直型电流孔径功率器件,其自下而上包括:漏极(11)、衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的二级阶梯形的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和栅极(10),势垒层(7)上的两侧淀积有两个源极(9),两个源极(9)下方通过离子注入形成两个注入区(8),除漏极底部以外的所有区域覆盖有钝化层(13),两侧的钝化层内分别制作有分段栅场板(12),该分段栅场板是由多个相互独立的浮空场板和一个栅场板构成,栅场板与栅极电气连接,两个电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。
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