- 专利标题: 分段栅场板垂直型电流孔径功率器件及其制作方法
- 专利标题(英): Subsection gate field plate vertical type current aperture power device and manufacturing method therefor
-
申请号: CN201710198228.X申请日: 2017-03-29
-
公开(公告)号: CN107170796A公开(公告)日: 2017-09-15
- 发明人: 毛维 , 丛冠宇 , 杜鸣 , 郝跃 , 张金风 , 林志宇
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 代理机构: 陕西电子工业专利中心
- 代理商 王品华
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/20 ; H01L29/40 ; H01L29/778 ; H01L21/335
摘要:
本发明公开了一种分段栅场板垂直型电流孔径功率器件,其自下而上包括:漏极(11)、衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的二级阶梯形的电流阻挡层(4)、沟道层(6)、势垒层(7)和栅极(10),势垒层(7)上的两侧淀积有两个源极(9),两个源极(9)下方通过离子注入形成两个注入区(8),除漏极底部以外的所有区域覆盖有钝化层(13),两侧的钝化层内分别制作有分段栅场板(12),该分段栅场板是由多个相互独立的浮空场板和一个栅场板构成,栅场板与栅极电气连接,两个电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高,可用于电力电子系统。
公开/授权文献
- CN107170796B 分段栅场板垂直型电流孔径功率器件及其制作方法 公开/授权日:2020-05-05
IPC分类: