弯曲压电振子的两自由度压电驱动器及采用该驱动器实现的两自由度运动的激励方法
摘要:
弯曲压电振子的两自由度压电驱动器及采用该驱动器实现的两自由度运动的激励方法。属于压电驱动技术领域。解决了现有的两自由度压电驱动装置结构复杂、成本高和行程小的问题。驱动器包括基座、压电振子和动子,所述弯曲压电陶瓷组分为两部分,分别为第一组弯曲压电陶瓷组和第二组弯曲压电陶瓷组,两组弯曲压电陶瓷施加电压激励信号时,压电振子可以分别实现两个自由度的弯曲运动。通过改变电压激励信号,可以控制压电振子的弯曲方向;利用摩擦力作为驱动力,以压电振子为定子,驱动动子实现两自由度运动。本发明主要应用于超精密驱动、定位、加工等领域。
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