Invention Publication
- Patent Title: 切割片、切割·芯片接合薄膜以及半导体装置的制造方法
- Patent Title (English): Dicing sheet, dicing/die-bonding film, and method for manufacturing semiconductor device
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Application No.: CN201580067732.5Application Date: 2015-12-10
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Publication No.: CN107004589APublication Date: 2017-08-01
- Inventor: 宍户雄一郎 , 三隅贞仁 , 大西谦司 , 柳雄一朗
- Applicant: 日东电工株式会社
- Applicant Address: 日本大阪府
- Assignee: 日东电工株式会社
- Current Assignee: 日东电工株式会社
- Current Assignee Address: 日本大阪府
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 李茂家
- Priority: 2014-252206 20141212 JP
- International Application: PCT/JP2015/084644 2015.12.10
- International Announcement: WO2016/093308 JA 2016.06.16
- Date entered country: 2017-06-12
- Main IPC: H01L21/301
- IPC: H01L21/301 ; C09J7/02 ; H01L21/52

Abstract:
本发明提供一种切割片及切割·芯片接合薄膜,其能够去除切割片的松弛,可以防止半导体元件彼此接触。涉及一种切割片,其通过在100℃下加热1分钟而收缩,相对于加热前的MD方向的第1长度100%,加热后的MD方向的第2长度为95%以下。切割片具备基材和配置在基材上的粘合剂层。切割·芯片接合薄膜具备切割片和配置在粘合剂层上的粘接剂层。
Public/Granted literature
- CN107004589B 切割片、切割·芯片接合薄膜以及半导体装置的制造方法 Public/Granted day:2021-07-16
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IPC分类: