切割片、切割·芯片接合薄膜以及半导体装置的制造方法
Abstract:
本发明提供一种切割片及切割·芯片接合薄膜,其能够去除切割片的松弛,可以防止半导体元件彼此接触。涉及一种切割片,其通过在100℃下加热1分钟而收缩,相对于加热前的MD方向的第1长度100%,加热后的MD方向的第2长度为95%以下。切割片具备基材和配置在基材上的粘合剂层。切割·芯片接合薄膜具备切割片和配置在粘合剂层上的粘接剂层。
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