- 专利标题: 测试结构及利用该测试结构监测探针针痕偏移的方法
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申请号: CN201611190346.8申请日: 2016-12-21
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公开(公告)号: CN106783804B公开(公告)日: 2019-07-26
- 发明人: 赵毅 , 瞿奇 , 陈玉立 , 彭飞 , 梁卉荣
- 申请人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 专利权人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
- 当前专利权人: 武汉新芯集成电路股份有限公司
- 当前专利权人地址: 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号
- 代理机构: 上海申新律师事务所
- 代理商 俞涤炯
- 主分类号: H01L23/544
- IPC分类号: H01L23/544 ; G01R31/28
摘要:
本发明涉及集成电路测试技术领域,尤其涉及一种测试结构及利用该测试结构监测探针针痕偏移的方法。本发明的测试结构在常规的WAT(晶圆可接受测试)中引入一条新的测试结构,其金属焊盘数目N(N>=4)与要监测的探针卡针脚数目一致,通过在每个金属焊盘下面放置一个有源器件,将N(N>=4)个有源器件的栅极、源极、漏极和衬底并联起来分别接入4个不同的焊盘,通过量测焊盘下面不同位置的有源器件的饱和电流,实现实时监测探针针脚的偏移情况。
公开/授权文献
- CN106783804A 测试结构及利用该测试结构监测探针针痕偏移的方法 公开/授权日:2017-05-31
IPC分类: