测试结构及利用该测试结构监测探针针痕偏移的方法
摘要:
本发明涉及集成电路测试技术领域,尤其涉及一种测试结构及利用该测试结构监测探针针痕偏移的方法。本发明的测试结构在常规的WAT(晶圆可接受测试)中引入一条新的测试结构,其金属焊盘数目N(N>=4)与要监测的探针卡针脚数目一致,通过在每个金属焊盘下面放置一个有源器件,将N(N>=4)个有源器件的栅极、源极、漏极和衬底并联起来分别接入4个不同的焊盘,通过量测焊盘下面不同位置的有源器件的饱和电流,实现实时监测探针针脚的偏移情况。
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