高质量碳化硅晶体生长用斜籽晶托以及生长高质量碳化硅晶体的方法
摘要:
本发明涉及高质量碳化硅晶体生长用斜籽晶托以及生长高质量碳化硅晶体的方法,所述籽晶托与籽晶接触的平面与水平方向的夹角范围为0°
0/0