- 专利标题: 高质量碳化硅晶体生长用斜籽晶托以及生长高质量碳化硅晶体的方法
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申请号: CN201610879687.X申请日: 2016-10-08
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公开(公告)号: CN106400116B公开(公告)日: 2019-01-08
- 发明人: 高攀 , 严成锋 , 忻隽 , 孔海宽 , 刘学超 , 施尔畏
- 申请人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区定西路1295号
- 专利权人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
- 当前专利权人: 安徽微芯长江半导体材料有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区定西路1295号
- 代理机构: 上海瀚桥专利代理事务所
- 代理商 郑优丽; 熊子君
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B23/00
摘要:
本发明涉及高质量碳化硅晶体生长用斜籽晶托以及生长高质量碳化硅晶体的方法,所述籽晶托与籽晶接触的平面与水平方向的夹角范围为0°
公开/授权文献
- CN106400116A 高质量碳化硅晶体生长用斜籽晶托以及生长高质量碳化硅晶体的方法 公开/授权日:2017-02-15
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