一种利用纳秒激光诱导裂纹制备微纳米复合结构的方法，先将工业纯钛TA1表面抛光，然后搭建光路，光路包括纳秒激光器，纳秒激光器输出光经过反射镜使光路转90°，反射光依次经过小孔光阑、分光棱镜、快门、聚焦透镜垂直照射在移动载物台的加工工位上，纳秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接，再利用电脑调节纳秒激光器输出激光参数，将抛光的工业纯钛固定在移动载物台加工工位上，经纳秒激光照射，利用电脑控制移动载物沿水平方向移动得到5μm以下的微米结构与1μm以下的纳米结构结合的表面复合结构，本发明利用钛材料热作用下的裂纹产生以及微结构可调控激光传播特性的特点，操作简单，加工效率高。