Invention Publication
- Patent Title: 束传输设备和方法
- Patent Title (English): Beam delivery apparatus and method
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Application No.: CN201480063035.8Application Date: 2014-09-24
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Publication No.: CN105745579APublication Date: 2016-07-06
- Inventor: V·班尼恩 , P·巴特瑞 , R·范格尔库姆 , L·阿门特 , 彼得·德亚格尔 , G·德维里斯 , R·栋克尔 , W·恩格尔伦 , O·弗里基恩斯 , L·格瑞米克 , A·卡塔伦尼克 , E·鲁普斯特拉 , H-K·尼恩惠斯 , A·尼基帕罗夫 , M·瑞肯斯 , F·詹森 , B·克鲁兹卡
- Applicant: ASML荷兰有限公司
- Applicant Address: 荷兰维德霍温
- Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee Address: 荷兰维德霍温
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 张启程
- Priority: 13199009.5 2013.12.20 EP; 14151497.6 2014.01.16 EP; 14152443.9 2014.01.24 EP; 14155980.7 2014.02.20 EP; 14165675.1 2014.04.23 EP; 14171051.7 2014.06.04 EP; 14171050.9 2014.06.04 EP; 14172951.7 2014.06.18 EP; 14173446.7 2014.06.23 EP; 61/882,336 2013.09.25 US; 61/897,046 2013.10.29 US; 61/905,053 2013.11.15 US
- International Application: PCT/EP2014/070335 2014.09.24
- International Announcement: WO2015/044182 EN 2015.04.02
- Date entered country: 2016-05-18
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20 ; G21K1/06 ; H01S3/09 ; H05H7/04
Abstract:
一种在光刻系统内使用的传输系统。所述束传输系统包括光学元件，所述光学元件被布置成接收来自辐射源的辐射束并且沿着一个或多个方向反射辐射的部分以形成用于供给到一个或多个工具的一个或多个分支辐射束。
Public/Granted literature
- CN105745579B 束传输设备和方法 Public/Granted day:2019-02-22
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IPC分类:
