一种非球面光学元件中频误差控制装置及控制方法
摘要:
一种非球面光学元件中频误差控制装置及控制方法,涉及光学加工和检测领域,解决了现有非球面抛光工艺中的中频误差抑制困难的技术问题。该装置包括镜片装卡装置,镜片转动轴,抛光磨头,抛光垫,气缸,磨头转动轴,由辅助合盘套筒、螺钉支撑圆环和固定螺钉组成的磨头合盘装置。抛光磨头与待抛光镜片的相对运动方式为:抛光磨头自转而待抛光镜片不动,抛光磨头不沿待抛光镜片径向进给,或者抛光磨头与待抛光镜片反方向转动,抛光磨头不沿待抛光镜片径向进给。本发明通过抛光磨头与待抛光镜片的相对运动方式实现待抛光镜片材料去除,平滑待抛光镜片中频误差,平滑效果好,抛光磨头制作方便,改善了非球面光学元件质量,提高了光学系统性能。
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