发明授权
- 专利标题: 一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法
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申请号: CN201510814955.5申请日: 2015-11-19
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公开(公告)号: CN105424236B公开(公告)日: 2017-08-25
- 发明人: 张加宏 , 赵阳 , 顾芳 , 陈剑翔 , 张月香 , 沈雷
- 申请人: 南京信息工程大学
- 申请人地址: 江苏省南京市建邺区奥体大街69号
- 专利权人: 南京信息工程大学
- 当前专利权人: 邳州市鑫盛创业投资有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市建邺区奥体大街69号
- 代理机构: 南京纵横知识产权代理有限公司
- 代理商 董建林
- 主分类号: G01L1/22
- IPC分类号: G01L1/22 ; G01L1/26
摘要:
本发明公开了一种多量程阵列式压力传感芯片,其特征在于,包括在同一衬底上的压力传感器组和温度传感器组,所述压力传感器组为M×N压力传感器阵列,压力传感器组具有M种量程压力传感器,同时M种量程的压力传感器各具有N个,其M,N为任意数,所述温度传感器组为2×M个温度传感器阵列,温度传感器阵列位于压力传感器阵列两侧,相应的每一量程的压力传感器左右两侧均有一个温度传感器;本发明所述的一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法实现了压力测量的高可靠性与高稳定性,可应用于各种恶劣的环境。
公开/授权文献
- CN105424236A 一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法 公开/授权日:2016-03-23