一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法
摘要:
本发明公开了一种多量程阵列式压力传感芯片,其特征在于,包括在同一衬底上的压力传感器组和温度传感器组,所述压力传感器组为M×N压力传感器阵列,压力传感器组具有M种量程压力传感器,同时M种量程的压力传感器各具有N个,其M,N为任意数,所述温度传感器组为2×M个温度传感器阵列,温度传感器阵列位于压力传感器阵列两侧,相应的每一量程的压力传感器左右两侧均有一个温度传感器;本发明所述的一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法实现了压力测量的高可靠性与高稳定性,可应用于各种恶劣的环境。
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