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发明授权
CN105374876B 具有U形沟道的FinFET晶体管 有权

具有U形沟道的FinFET晶体管
摘要：
本发明公开了具有U形FinFET的半导体器件及其形成方法。半导体器件包括：衬底和位于衬底上方的鳍，其中，鳍在顶视图中具有U形并且具有第一臂部和第二臂部以及连接第一臂部和第二臂部的桥部。该半导体器件还包括位于衬底上方的第一栅极，第一栅极在第一臂部和第二臂部及桥部处与鳍接合。FinFET的源极区形成在第一臂部中，FinFET的漏极区形成在第二臂部中，并且FinFET的沟道区形成在源极区和漏极区之间的鳍中。本发明涉及具有U形沟道的FinFET晶体管。
摘要（英）：

A semiconductor device having a u-shaped FinFET and methods of forming the same are disclosed. The semiconductor device includes a substrate and a fin over the substrate, wherein the fin has a u-shape from a top view with first and second arm portions and a bridge portion connecting the first and second arm portions. The semiconductor device further includes a first gate over the substrate, engaging the fin at both the first and second arm portions and the bridge portion. A source region of the FinFET is formed in the first arm portion, a drain region of the FinFET is formed in the second arm portion, and a channel region of the FinFET is formed in the fin between the source region and the drain region.

公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换，并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒，例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器；半导体本体或其电极的零部件（H01L31/00至H01L47/00，H01L51/05优先；除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00；由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00）
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的（H01L29/96优先）
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/78 .....由绝缘栅产生场效应的
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