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发明授权
CN105308138B 粘合片、使用该粘合片的半导体装置的制造方法、使用该粘合片的热式空气流量传感器的制造方法、以及热式空气流量传感器 有权

粘合片、使用该粘合片的半导体装置的制造方法、使用该粘合片的热式空气流量传感器的制造方法、以及热式空气流量传感器
摘要：
为提供测量精度得到提高的热式空气流量計及其制造方法、以及其使用的粘合片，本发明的粘合片是相对于一枚被粘合体至少被分割为2枚以上的、厚度大概为0.1mm以下的粘合片，其特征在于，对应于被粘合体的形状而分割粘合片，利用来自外部的能量使粘合性或粘附性产生或增加。
摘要（英）：

Provided is a thermal type airflow volume meter improving measurement accuracy, a method for manufacturing the same, and an adhesive sheet for use therein, the adhesive sheet divided into at least two or more per adherend and having a thickness of approximately 0.1 mm or less is divided to correspond to a shape of the adherend and generates or increases adhesion or stickiness by external energy.

公开/授权文献
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