晶体管的多晶硅发射极制造的方法
摘要:
本发明涉及一种晶体管的多晶硅发射极制造的方法。包括:在包含有N型集电区、P型基区、第一氧化层、第二氧化层的衬底表面进行光刻、刻蚀,形成发射区窗口,露出与发射区窗口宽度相同的P型基区区域;在第一氧化层、第二氧化层的表面和发射区窗口中淀积未掺杂的多晶硅,以使未掺杂的多晶硅完全覆盖发射区窗口区域;在淀积未掺杂的多晶硅后的衬底表面进行光刻、刻蚀,去除发射区窗口区域之外区域的未掺杂的多晶硅;采用离子注入工艺对发射区窗口内的未掺杂的多晶硅注入掺杂元素;对注入掺杂元素后的衬底进行第一热处理,以使发射区窗口中的多晶硅中的掺杂元素扩散至露出的P型基区区域的表层之中,形成N型扩散区。
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