发明公开
- 专利标题: 晶体管的多晶硅发射极制造的方法
- 专利标题(英): Manufacture method of polysilicon emitter of transistor
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申请号: CN201410160444.1申请日: 2014-04-21
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公开(公告)号: CN105097505A公开(公告)日: 2015-11-25
- 发明人: 潘光燃 , 文燕 , 王焜 , 石金成 , 张建湘 , 高振杰
- 申请人: 北大方正集团有限公司 , 深圳方正微电子有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦9层
- 专利权人: 北大方正集团有限公司,深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人: 深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区成府路298号中关村方正大厦9层
- 代理机构: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 刘芳
- 主分类号: H01L21/331
- IPC分类号: H01L21/331 ; H01L21/28
摘要:
本发明涉及一种晶体管的多晶硅发射极制造的方法。包括:在包含有N型集电区、P型基区、第一氧化层、第二氧化层的衬底表面进行光刻、刻蚀,形成发射区窗口,露出与发射区窗口宽度相同的P型基区区域;在第一氧化层、第二氧化层的表面和发射区窗口中淀积未掺杂的多晶硅,以使未掺杂的多晶硅完全覆盖发射区窗口区域;在淀积未掺杂的多晶硅后的衬底表面进行光刻、刻蚀,去除发射区窗口区域之外区域的未掺杂的多晶硅;采用离子注入工艺对发射区窗口内的未掺杂的多晶硅注入掺杂元素;对注入掺杂元素后的衬底进行第一热处理,以使发射区窗口中的多晶硅中的掺杂元素扩散至露出的P型基区区域的表层之中,形成N型扩散区。
公开/授权文献
- CN105097505B 晶体管的多晶硅发射极制造的方法 公开/授权日:2017-10-20
IPC分类: