发明授权
- 专利标题: 芯片后组装有源埋入封装结构及其生产工艺
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申请号: CN201510397775.1申请日: 2015-07-08
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公开(公告)号: CN105047630B公开(公告)日: 2018-05-22
- 发明人: 郝虎 , 郭学平
- 申请人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园D1栋
- 代理机构: 无锡市大为专利商标事务所
- 代理商 曹祖良; 刘海
- 主分类号: H01L23/485
- IPC分类号: H01L23/485 ; H01L23/488 ; H01L21/50 ; H01L21/60 ; H01L23/367
摘要:
本发明涉及一种芯片后组装有源埋入封装结构及其生产工艺,包括:提供用于承载芯片的载板;在载板上通过筑坝介质层临时键合基板坝体,基板坝体上开设槽体;槽体中贴装芯片,芯片正面的凸点与载板上表面的铜凸点连接,芯片背面裸露;经层压将芯片与载板键合,筑坝介质层填充在芯片的底部以及芯片与基板坝体之间的间隙;在载板下表面焊盘进行植BGA球。本发明采用芯片后埋置的工艺,结合高温层压工艺直接完成芯片凸点与载板凸点之间键合,筑坝介质层填充在芯片与载板之间,工艺简单与基板工艺兼容性较好,能够很大程度上降低其工艺成本提高芯片封装性能;并且芯片采用后组装的方式使芯片背面裸露,解决芯片内埋置不易散热的问题。
公开/授权文献
- CN105047630A 芯片后组装有源埋入封装结构及其生产工艺 公开/授权日:2015-11-11
IPC分类: