图案形成方法、磁记录介质的制造方法、以及磁记录介质
Abstract:
本发明涉及图案形成方法、磁记录介质的制造方法、以及磁记录介质。使用自组装膜而形成密度高的微细图案。根据实施方式,反复进行2次或3次下述工序,与形成了1层的二嵌段共聚物层的情况相比提高凸图案的密度,所述工序是形成二嵌段共聚物层,相分离为海岛相,然后对海状相进行蚀刻的工序。
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