发明公开
CN104285304A 光电转换装置及其制造方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 光电转换装置及其制造方法
- 专利标题(英): Photovoltaic device and method for producing same
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申请号: CN201380024434.9申请日: 2013-04-15
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公开(公告)号: CN104285304A公开(公告)日: 2015-01-14
- 发明人: 西村和仁 , 奈须野善之 , 本多真也 , 山田隆
- 申请人: 夏普株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 岳雪兰
- 优先权: 2012-108705 2012.05.10 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/061165 2013.04.15
- 国际公布: WO2013/168515 JA 2013.11.14
- 进入国家日期: 2014-11-10
- 主分类号: H01L31/04
- IPC分类号: H01L31/04 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供一种光电转换装置及其制造方法。光电转换装置(10)具有依次层积p型半导体层(31)、i型半导体层(32)以及n型半导体层(33)的光电转换层(3)。p型半导体层(31)由p型硅薄膜(311~313)形成。p型硅薄膜(311,312)利用在1MHz~50MHz的高频功率上叠加100Hz~1kHz的低频脉冲功率后的脉冲功率作为等离子体激发功率,以高频功率的密度为100~300mW/cm2、等离子体处理中的压力为300~600Pa、等离子体处理时的基板温度为140~190℃的条件,沉积具有p型导电型的硅薄膜并且氮化而形成。而且,p型硅薄膜(313)利用上述条件进行沉积。
IPC分类: