光电转换装置及其制造方法
摘要:
本发明提供一种光电转换装置及其制造方法。光电转换装置(10)具有依次层积p型半导体层(31)、i型半导体层(32)以及n型半导体层(33)的光电转换层(3)。p型半导体层(31)由p型硅薄膜(311~313)形成。p型硅薄膜(311,312)利用在1MHz~50MHz的高频功率上叠加100Hz~1kHz的低频脉冲功率后的脉冲功率作为等离子体激发功率,以高频功率的密度为100~300mW/cm2、等离子体处理中的压力为300~600Pa、等离子体处理时的基板温度为140~190℃的条件,沉积具有p型导电型的硅薄膜并且氮化而形成。而且,p型硅薄膜(313)利用上述条件进行沉积。
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