- 专利标题: 带粘接性树脂层的片和半导体装置的制造方法
- 专利标题(英): Sheet having adhesive resin layer attached thereto, and method for producing semiconductor device
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申请号: CN201380025270.1申请日: 2013-05-14
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公开(公告)号: CN104271694A公开(公告)日: 2015-01-07
- 发明人: 堀米克彦 , 佐藤明德 , 根津裕介
- 申请人: 琳得科株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 蔡晓菡; 刘力
- 优先权: 2012-110644 2012.05.14 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/063379 2013.05.14
- 国际公布: WO2013/172328 JA 2013.11.21
- 进入国家日期: 2014-11-14
- 主分类号: C09J7/02
- IPC分类号: C09J7/02 ; B32B27/00 ; C09J201/00 ; H01L21/52
摘要:
提供一种在保持了芯片状部件的整齐性(整列性)的情况下能够转印芯片状部件的带粘接性树脂层的片。另外,提供一种使用了该片的半导体装置的制造方法。本发明的带粘接性树脂层的片包含基材和层叠在该基材上的粘接性树脂层,以70℃加热1分钟后的基材的MD方向和CD方向的收缩率为-0.5~0.5%,基材的硬挺度为80mm以上。
公开/授权文献
- CN104271694B 带粘接性树脂层的片和半导体装置的制造方法 公开/授权日:2017-03-22