带粘接性树脂层的片和半导体装置的制造方法
摘要:
提供一种在保持了芯片状部件的整齐性(整列性)的情况下能够转印芯片状部件的带粘接性树脂层的片。另外,提供一种使用了该片的半导体装置的制造方法。本发明的带粘接性树脂层的片包含基材和层叠在该基材上的粘接性树脂层,以70℃加热1分钟后的基材的MD方向和CD方向的收缩率为-0.5~0.5%,基材的硬挺度为80mm以上。
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