发明授权
- 专利标题： 用来减低镜片加热现象的光掩膜
- 专利标题（英）： Reticle design for the reduction of lens heating phenomenon
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申请号： CN201310031922.4申请日： 2013-01-28
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公开(公告)号： CN103293846B公开(公告)日： 2015-06-24
- 发明人: 周建明 , 安东·戴佛乐 , 艾瑞克·拜尔斯
- 申请人： 南亚科技股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾桃园县
- 专利权人： 南亚科技股份有限公司
- 当前专利权人： 南亚科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾桃园县
- 代理机构： 深圳新创友知识产权代理有限公司
- 代理商 江耀纯
- 优先权： 13/401,858 2012.02.22 US
- 主分类号： G03F1/26
- IPC分类号： G03F1/26 ; G03F1/70 ; G03F1/76
摘要：
本发明公开了一种减缓透镜加热用的光掩膜，其包括基板、目标图案和重分配图案。基板包括有效的图案区域，目标图案则位于有效的图案区域中，而用来将目标图案建立到晶圆上。重分配图案也位于有效的图案区域中，而用来将能量重新分配至镜片上，但是又不会被转印至晶圆上，所以不会在将目标图案建立至晶圆上时反而改掉了目标图案。
公开/授权文献
- CN103293846A 用来减低镜片加热现象的光掩膜 公开/授权日：2013-09-11
