发明授权
- 专利标题: 薄膜图形化方法
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申请号: CN201310103325.8申请日: 2013-03-28
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公开(公告)号: CN103151245B公开(公告)日: 2016-02-17
- 发明人: 孙秋娟 , 王浩敏 , 左青云 , 康晓旭 , 谢红 , 邓联文 , 谢晓明 , 江绵恒
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 李仪萍
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02
摘要:
本发明提供一种薄膜图形化方法,该方法至少包括以下步骤:提供一非金属衬底,并在该非金属衬底上形成光刻胶;进行光学曝光,将预设图形转移至该光刻胶上;在步骤2)之后获得的结构上沉积金属层;然后去除光刻胶并剥离,获得所需金属图形结构;在上述金属图形结构表面沉积薄膜材料,形成薄膜;最后去除剩余金属层得到图形化薄膜。本发明利用通常的图形化技术,实现金属的图形化,再以金属为掩膜板,在衬底上直接沉积高温生长的薄膜材料,该发明即沿用了传统的图形化技术,又克服了光刻胶在高温下无法做掩膜板使用的弊端;与离子束刻蚀方法相比,本发明工艺简单,易于操作,且花费较低。
公开/授权文献
- CN103151245A 薄膜图形化方法 公开/授权日:2013-06-12
IPC分类: