发明授权
- 专利标题: 一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法
- 专利标题(英): Uncooled pyroelectric linear focal plane and manufacturing method thereof
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申请号: CN201210431102.X申请日: 2012-11-01
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公开(公告)号: CN102928089B公开(公告)日: 2014-08-13
- 发明人: 马学亮 , 邵秀梅 , 于月华 , 李言谨
- 申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 代理机构: 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 郭英
- 主分类号: G01J5/10
- IPC分类号: G01J5/10 ; G01J3/02 ; B81C1/00 ; B81C3/00
摘要:
本专利公开了一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法,通过设计光敏元及电极的大小和结构,将光敏芯片的延伸电极区和与光敏芯片大小匹配的衬底粘结在一起,使光敏元区处于悬空状态。相邻光敏元之间刻蚀形成隔热槽,可以减小光敏元之间的热导,降低串音。读出电路根据热释电光敏芯片特性参数设计,采用电流积分形式的读出放大电路,输入级和热释电光敏芯片一一对应。非制冷热释电线列焦平面采用混成式结构,热释电光敏芯片和读出电路通过引线键合工艺互联耦合,采用金属管壳封装。非制冷热释电线列焦平面的制造工艺包括光敏芯片的减薄、损伤缺陷去除、电极成形、吸收层制备和引线键合等工艺技术。
公开/授权文献
- CN102928089A 一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法 公开/授权日:2013-02-13