一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法
摘要:
本专利公开了一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法,通过设计光敏元及电极的大小和结构,将光敏芯片的延伸电极区和与光敏芯片大小匹配的衬底粘结在一起,使光敏元区处于悬空状态。相邻光敏元之间刻蚀形成隔热槽,可以减小光敏元之间的热导,降低串音。读出电路根据热释电光敏芯片特性参数设计,采用电流积分形式的读出放大电路,输入级和热释电光敏芯片一一对应。非制冷热释电线列焦平面采用混成式结构,热释电光敏芯片和读出电路通过引线键合工艺互联耦合,采用金属管壳封装。非制冷热释电线列焦平面的制造工艺包括光敏芯片的减薄、损伤缺陷去除、电极成形、吸收层制备和引线键合等工艺技术。
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