阵列式单芯片集成数字微加速度计
摘要:
本发明涉及微加速度计,具体为一种阵列式单芯片集成数字微加速度计,解决了现有的加速度传感器体积大,现有的加速度计单元达不到满量程输出、固支梁的根部易断裂、高低量程的加速度计达不到优化配置的技术问题。一种阵列式单芯片集成数字微加速度计,包括单晶硅材料的结构层(2);所述结构层(2)分为左右两部分,所述结构层(2)右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元(21)和第二压阻式加速度计单元(22);结构层(2)左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元(21、22)的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路。本发明将加速度计阵列单元与信号处理电路集成到一块芯片上,实现了微型化和集成化。
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