发明公开
CN102866262A 阵列式单芯片集成数字微加速度计
失效 - 权利终止
- 专利标题: 阵列式单芯片集成数字微加速度计
- 专利标题(英): Array type single-chip integrated digital microaccelerometer
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申请号: CN201210336902.3申请日: 2012-09-13
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公开(公告)号: CN102866262A公开(公告)日: 2013-01-09
- 发明人: 郭涛 , 鲍爱达 , 马喜宏 , 杨卫 , 李杰 , 张晓明 , 石云波 , 徐香菊 , 朱杰
- 申请人: 中北大学
- 申请人地址: 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 专利权人: 中北大学
- 当前专利权人: 中北大学
- 当前专利权人地址: 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 代理机构: 太原科卫专利事务所
- 代理商 朱源
- 主分类号: G01P15/12
- IPC分类号: G01P15/12
摘要:
本发明涉及微加速度计,具体为一种阵列式单芯片集成数字微加速度计,解决了现有的加速度传感器体积大,现有的加速度计单元达不到满量程输出、固支梁的根部易断裂、高低量程的加速度计达不到优化配置的技术问题。一种阵列式单芯片集成数字微加速度计,包括单晶硅材料的结构层(2);所述结构层(2)分为左右两部分,所述结构层(2)右面的上下两部分分别集成有不同量程的第一压阻式加速度计单元(21)和第二压阻式加速度计单元(22);结构层(2)左面集成有对第一、二压阻式加速度计单元(21、22)的输出信号进行放大滤波处理的CMOS电路。本发明将加速度计阵列单元与信号处理电路集成到一块芯片上,实现了微型化和集成化。
公开/授权文献
- CN102866262B 阵列式单芯片集成数字微加速度计 公开/授权日:2014-04-16
IPC分类: