发明公开
- 专利标题： 一种确定光学干涉仪中的镜位置的技术
- 专利标题（英）： Technique to determine mirror position in optical interferometers
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申请号： CN201180013109.3申请日： 2011-03-09
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公开(公告)号： CN102834764A公开(公告)日： 2012-12-19
- 发明人: H·哈德达拉 , B·A·萨达尼 , A·N·哈菲兹 , M·梅德哈特
- 申请人： 斯维尔系统
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 斯维尔系统
- 当前专利权人： 斯维尔系统
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 王茂华
- 优先权： 61/311,966 2010.03.09 US
- 国际申请： PCT/US2011/027686 2011.03.09
- 国际公布： WO2011/112676 EN 2011.09.15
- 进入国家日期： 2012-09-07
- 主分类号： G02B26/08
- IPC分类号： G02B26/08 ; G01B9/02 ; G01B7/14
摘要：
一种微机电系统(MEMS)干涉仪系统使用电容感测电路确定可移动镜的位置。静电MEMS致动器耦合至可移动镜以引起其位移。电容感测电路感测MEMS致动器的当前电容并且基于MEMS致动器的当前电容确定可移动镜的位置。
公开/授权文献
- CN102834764B 一种确定光学干涉仪中的镜位置的技术 公开/授权日：2016-03-23
