- 专利标题: 超高电压N型金属氧化物半导体元件及其制造方法
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申请号: CN201110081712.7申请日: 2011-03-29
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公开(公告)号: CN102738230B公开(公告)日: 2015-08-19
- 发明人: 陈建志 , 林正基 , 林镇元 , 连士进 , 吴锡垣
- 申请人: 旺宏电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人: 旺宏电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周国城
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开了一种可改善电学性能的超高电压N型金属氧化物半导体(UHV NMOS)元件及其制造方法。UHV NMOS元件包括一P型衬底;一第一高压N型阱区域,设置于衬底的一部分;一源极和基体P型阱,设置于邻近第一高压N型阱区域的一侧,且源极和基体P型阱包括一源极和一基体;一栅极,自源极和基体P型阱延伸至第一高压N型阱区域的一部分;一漏极设置于第一高压N型阱的另一部分且与栅极相对应;一P型场限制层,设置于第一高压N型阱区域内,且P型场限制层位于漏极与源极和基体P型阱之间;以及一N型掺杂层,形成于P型场限制层上方。
公开/授权文献
- CN102738230A 超高电压N型金属氧化物半导体元件及其制造方法 公开/授权日:2012-10-17
IPC分类: