Invention Publication
- Patent Title: 测量光学表面形状的方法以及干涉测量装置
- Patent Title (English): Method of measuring a shape of an optical surface and interferometric measuring device
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Application No.: CN200980162499.3Application Date: 2009-09-18
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Publication No.: CN102686972APublication Date: 2012-09-19
- Inventor: R.弗赖曼 , B.多尔班德 , S.舒尔特 , A.霍夫 , F.里彭豪森 , M.曼格 , D.纽格鲍尔 , H.艾斯勒 , A.比科
- Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Applicant Address: 德国上科亨
- Assignee: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Current Assignee: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- Current Assignee Address: 德国上科亨
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 邱军
- International Application: PCT/EP2009/006754 20090918
- International Announcement: WO2011/032572 EN 20110324
- Date entered country: 2012-05-18
- Main IPC: G01B9/02
- IPC: G01B9/02 ; G01B11/24 ; G02B26/06 ; G01M11/02

Abstract:
提供一种测量测试物体(12)的光学表面(14)的形状的方法。该方法包括以下步骤:提供产生测量波(18)的干涉测量装置(16),在不同测量位置处相对于彼此连贯地布置该干涉测量装置(16)和测试物体(12),从而由该测量波(18)照明该光学表面(14)的不同区域(20),在该不同测量位置,测量该测量装置(16)关于该测试物体(12)的位置坐标,通过在每个测量位置处使用测量装置(16)干涉地测量该测量波(18)在与该光学表面(14)的各个区域(20)相互作用之后的波前而获得表面区域测量,通过基于该干涉测量装置(16)在每个测量位置处所测量的位置坐标计算地组合子表面测量而确定该光学表面(14)的实际形状。
Public/Granted literature
- CN102686972B 测量光学表面形状的方法以及干涉测量装置 Public/Granted day:2015-04-08
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