发明公开
- 专利标题: 激光加工装置以及利用该装置的激光加工方法
- 专利标题(英): Laser processing device and laser processing method using the same
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申请号: CN201010574502.7申请日: 2010-12-06
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公开(公告)号: CN102468120A公开(公告)日: 2012-05-23
- 发明人: 柳炳韶 , 金学龙 , 李炳植 , 张铉三 , 郭钟浩
- 申请人: QMC株式会社 , 柳炳韶
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: QMC株式会社,柳炳韶
- 当前专利权人: QMC株式会社,柳炳韶
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 陈英俊
- 优先权: 10-2010-0108527 2010.11.03 KR
- 主分类号: H01L21/00
- IPC分类号: H01L21/00 ; H01L21/02
摘要:
本发明涉及一种利用激光加工材料的激光加工装置以及利用该装置的激光加工方法,更详细地说,公开了能够缩短工序时间、提高生产率的激光加工装置以及利用该装置的激光加工方法。该激光加工方法包括如下步骤:引出晶片步骤,所述送料机从安装在所述晶片盒升降器上的晶片盒中引出晶片并移送至所述晶片对准器;晶片排列及边缘检测步骤,所述晶片对准器对所述晶片的两侧面施压而排列晶片,然后所述边缘检测器动作而检测被固定在所述晶片对准器上的晶片的外轮廓形状图案;装载晶片步骤,所述转送臂动作,将已结束边缘检测的晶片移送至工作台;以及加工晶片步骤,所述工作台和所述激光加工部动作,加工晶片。
IPC分类: