发明授权
- 专利标题: 一种用于半导体晶片键合的键合结构
- 专利标题(英): Bonding structure for bonding semiconductor wafer
-
申请号: CN201110181756.7申请日: 2011-06-30
-
公开(公告)号: CN102244056B公开(公告)日: 2013-01-16
- 发明人: 熊伟平 , 林桂江 , 宋明辉 , 吴志敏 , 梁兆煊 , 林志东
- 申请人: 厦门市三安光电科技有限公司
- 申请人地址: 福建省厦门市思明区吕岭路1721-1725号
- 专利权人: 厦门市三安光电科技有限公司
- 当前专利权人: 厦门市三安光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市思明区吕岭路1721-1725号
- 主分类号: H01L23/485
- IPC分类号: H01L23/485 ; H01L23/48
摘要:
本发明公开了一种用于半导体晶片键合的键合结构,其包括:一接触层,覆盖于待键合的半导体晶片表面上;一第一阻挡层,用于覆盖在接触层表面上,设有一第一绝缘区域和一第一导通区域;一导电层,覆盖于第一阻挡层表面上;一覆盖于所述导电层的第二阻挡层,设有一第二绝缘区域和一第二导通区域,第二导通区域的位置与所述第一导通区域的位置相互错开;键合层,覆盖于所述第二阻挡层表面上。本发明可完全阻挡键合层材料扩散入接触层或半导体晶片,从而完全避免影响接触层与半导体晶片的接触特性、接触层反光特性以及半导体晶片材料特性。同时,本发明还可大为提高键合结构在垂直方向的导电性和导热性。
公开/授权文献
- CN102244056A 一种用于半导体晶片键合的键合结构 公开/授权日:2011-11-16
IPC分类: