一种用于半导体晶片键合的键合结构
摘要:
本发明公开了一种用于半导体晶片键合的键合结构,其包括:一接触层,覆盖于待键合的半导体晶片表面上;一第一阻挡层,用于覆盖在接触层表面上,设有一第一绝缘区域和一第一导通区域;一导电层,覆盖于第一阻挡层表面上;一覆盖于所述导电层的第二阻挡层,设有一第二绝缘区域和一第二导通区域,第二导通区域的位置与所述第一导通区域的位置相互错开;键合层,覆盖于所述第二阻挡层表面上。本发明可完全阻挡键合层材料扩散入接触层或半导体晶片,从而完全避免影响接触层与半导体晶片的接触特性、接触层反光特性以及半导体晶片材料特性。同时,本发明还可大为提高键合结构在垂直方向的导电性和导热性。
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