Invention Publication
CN102005364A 从被切断物剥离除去切割表面保护胶带的方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 从被切断物剥离除去切割表面保护胶带的方法
- Patent Title (English): Method for separating and removing dicing surface protection tape from object to be cut
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Application No.: CN201010271996.1Application Date: 2010-08-31
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Publication No.: CN102005364APublication Date: 2011-04-06
- Inventor: 杉村敏正 , 西尾昭德 , 木内一之
- Applicant: 日东电工株式会社
- Applicant Address: 日本大阪府
- Assignee: 日东电工株式会社
- Current Assignee: 日东电工株式会社
- Current Assignee Address: 日本大阪府
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 李茂家
- Priority: 2009-200231 2009.08.31 JP
- Main IPC: H01L21/00
- IPC: H01L21/00 ; H01L21/78

Abstract:
本发明提供一种方法,在切割工序中,在被切断物表面上粘贴表面保护胶带,通过与被切断物一并切断,而保护被切断物表面免受因切屑等粉尘等的附着所引起的污染,并且在切割工序后,可容易地从各个基片剥离除去表面保护胶带。还提供一种方法,在被切断物表面上粘贴表面保护胶带,将其与所述被切断物一起切断后,在使被切断物倾斜的状态下除去该切割表面保护胶带。
Public/Granted literature
- CN102005364B 从被切断物剥离除去切割表面保护胶带的方法 Public/Granted day:2013-01-16
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