- 专利标题: 线性电子源和使用线性电子源的蒸发器以及电子源的应用
- 专利标题(英): Linear electron source, evaporator using linear electron source, and applications of electron sources
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申请号: CN200880121937.7申请日: 2008-11-24
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公开(公告)号: CN101903969B公开(公告)日: 2013-01-16
- 发明人: 贡特尔·克莱姆 , 沃尔克·哈克 , 汉斯-格奥尔格·洛兹
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 王金宝
- 优先权: 07024960.2 2007.12.21 EP; 61/016,359 2007.12.21 US
- 国际申请: PCT/EP2008/066096 2008.11.24
- 国际公布: WO2009/080430 EN 2009.07.02
- 进入国家日期: 2010-06-21
- 主分类号: H01J37/077
- IPC分类号: H01J37/077 ; H01J37/305 ; C23C14/30
摘要:
所公开的是给腹板或箔充电的方法。所述方法包含由至少一个滚轮引导具有10μm或更大厚度的腹板或箔;设置线性电子源(100),线性电子源(100)具有外壳(112),所述外壳用作阳极,所述外壳具有:侧壁(312);狭缝开口(114),位于所述外壳中用于使线性电子束穿透,所述狭缝开口界定所述源的长度方向;阴极,安排在所述外壳内并具有第一侧(413),第一侧(413)面对所述狭缝开口;至少一个气体供应器(70),气体供应器(70)用于提供气体至所述外壳中;及电源供应器,电源供应器用于在所述阳极和所述阴极间提供高电压;及发射所述线性电子束,其中调整所述高电压以用于提供电子能量以在所述腹板或箔内部注入所述电子束的电子。
公开/授权文献
- CN101903969A 线性电子源和使用线性电子源的蒸发器以及电子源的应用 公开/授权日:2010-12-01