- 专利标题: 线性电子源和使用线性电子源的蒸发器以及电子源的应用
- 专利标题(英): Linear electron source, evaporator using linear electron source, and appliccations of electron sources
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申请号: CN200880121937.7申请日: 2008-11-24
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公开(公告)号: CN101903969A公开(公告)日: 2010-12-01
- 发明人: 贡特尔·克莱姆 , 沃尔克·哈克 , 汉斯-格奥尔格·洛兹
- 申请人: 应用材料股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料股份有限公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 王金宝
- 优先权: 07024960.2 2007.12.21 EP; 61/016,359 2007.12.21 US
- 国际申请: PCT/EP2008/066096 2008.11.24
- 国际公布: WO2009/080430 EN 2009.07.02
- 进入国家日期: 2010-06-21
- 主分类号: H01J37/077
- IPC分类号: H01J37/077 ; H01J37/305 ; C23C14/30
摘要:
所公开的是一给腹板或箔充电的方法。该方法包含由至少一滚轮引导具有10μm或更大厚度的一腹板或箔;设置一线性电子源(100),其具有一外壳(112),该外壳用作一阳极,该外壳具有:侧壁(312);一狭缝开口(114),其位于该外壳中用于一线性电子束穿透,该狭缝开口界定该源的一长度方向;一阴极,其安排在该外壳内,并具有一第一侧(413),其面对该狭缝开口;至少一气体供应器(70),其用于提供一气体至该外壳中;及一电源供应器,其用于在该阳极和该阴极间提供一高电压;及发射该线性电子束,其中调整该高电压以用于提供一电子能量以在该腹板或箔内部注入该电子束的电子。
公开/授权文献
- CN101903969B 线性电子源和使用线性电子源的蒸发器以及电子源的应用 公开/授权日:2013-01-16