用于转载石英舟的自动传输装置
摘要:
一种用于转载石英舟的自动传输装置,解决了传统手工操作可靠性较差、效率低和现有传输装置受结构的约束,影响移动的活动范围等问题,它包括机架、升降臂和抓取机构以及电气控制装置,其技术要点是:升降臂通过连接其上的主动旋转臂、被动旋转臂与抓取机构组成四连杆调整机构,升降臂上的主动旋转臂固定在手臂旋转电机驱动的传动轴上,主动旋转臂的伸缩臂铰接在抓取机构的一端,升降臂上的被动旋转臂固定在被动轴上,另一端铰接在抓取机构上。其设计合理,传动结构简便,移动的活动范围广,且传输定位控制快捷、精确,安装容易,调试、维护方便,显著增加承载能力和运行的安全可靠性,提高热处理设备的作业效率,避免晶圆片或太阳能电池片破损。
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